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詞條說明
多弧離子鍍膜機(jī)是一種高效、無害、無污染的離子鍍膜設(shè)備,具有沉積速度快、離化率高、離子能量大、設(shè)備操作簡單、成本低、生產(chǎn)量大的優(yōu)點。 其工作原理是把真空弧光放電技術(shù)用于蒸發(fā)源的技術(shù),即在真空環(huán)境下引燃蒸發(fā)源(陰極),與陽極之間形成自持弧光放電,既從陰極弧光輝點放出陰極物質(zhì)的離子。由于電流局部的集中,產(chǎn)生的焦耳熱使陰極材料局部的爆發(fā)性地等離子化,在工件偏壓的作用下與反應(yīng)氣體化合,而沉積在工件表面上形成
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